超聲蕩滌的重要機理是超聲空化作用．超聲空化的強弱與聲學參數、蕩滌液的物理化學性質及環境前提有關，所以要得到良好的蕩滌后果必須抉擇恰當的聲學參數跟蕩滌液。

聲強或聲壓的抉擇

在蕩滌液中只有交變聲壓幅值超過液體的靜壓力時才會呈現負壓。而負壓要超過液體的強度才干產生空化。使液體產生空化的最低聲強或聲壓幅值稱為空化閾。各種液體存在不同的空化閾值，在超聲蕩滌槽中的聲強要高于空化閾值才干產生超聲空化。對個別液體，空化閾值約為每平方厘米1／3瓦(聲壓的千方正比于聲強)．聲強增加時，空化泡的最大半徑與起始半徑的比值增大，空化強度增大，即聲強愈高，空化愈強烈．十字軸有利于蕩滌作用。但不是聲功率越大越好，聲強過高．會產生大量無用的氣泡，增加散射衰減，形成聲屏障，同時聲強增大也會增加非線性衰減，這樣都會減弱闊別聲源處所的蕩滌后果。對一些難蕩滌清潔的污物，例如金屬名義的氧化物，化纖噴絲板孔中污物的蕩滌，則須要采取較高的聲強．此時被蕩滌面應貼近聲源，這時大多不采取槽式蕩滌器．而用棒狀聚焦式換能器直接插入蕩滌液湊近蕩滌件的名義進行蕩滌．

頻率的抉擇

超聲空化閾值跟超聲波的頻率有密切關聯．頻率越高，空化閾越高，換句話說，頻率越高，在液體中要產生空化所須要的聲強或聲功率也越大；頻率低，空化輕易產生，同時在低頻情況下，液體受到的緊縮跟稀少作用有更長的時光間隔．使氣泡在瓦解前能成長到較大的尺寸，增高空化強度，有利于蕩滌作用．目前超聲波蕩滌機的工作頻率依據蕩滌對象，大抵分為三個頻段；低頻超聲蕩滌(20一50KHz)，高頻超聲蕩滌(50—200KHz)跟兆赫超聲蕩滌(700KHz一1MHz以上)．低頻超聲蕩滌實用于大部件名義或者污物跟蕩滌件名義結合強度高的場合。十字軸萬向節軸承由于卓越的品質及周到的服務，事業也進展迅猛。頻率的低端，空化強度高。易腐化蕩滌件名義，不適合蕩滌名義光潔度高的部件，而且空化噪聲大．40KHz左右的頻率，在同聲強下，產生的空化泡數量比頻率為20KHz時多，穿透力較強，宜蕩滌名義外形龐雜或有盲孔的工件，空化噪聲較小．但空化強度較低，適合蕩滌污物與被蕩滌件名義結協力較弱的場合，高頻超聲蕩滌實用于盤算機。微電子元件的精巧蕩滌，如磁盤、驅動器，讀寫頭，液晶玻璃及平面顯示器，微組件跟拋光金屬件等的蕩滌．這些蕩滌對象請求在蕩滌進程中不能受到空化腐化．要能洗掉微米級的污物。兆赫超聲蕩滌實用于集成電路芯片、硅片及簿膜等的蕩滌。能去除微米、亞微米級的污物而對蕩滌件不任何傷害。因為此時不產生空化．其蕩滌機理重要是聲壓梯度．粒子速度跟聲流的作用．特點是蕩滌方向性強，被蕩滌件個別置于與聲束平行的方向．